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水冷板燒結(jié)夾具的選用原則

作者:jcshimo 發(fā)布時(shí)間:2024-02-29 09:53:50

水冷板燒結(jié)夾具的選用準(zhǔn)則
    水冷板燒結(jié)夾具、VC均溫板載具等熱工裝備是制作半導(dǎo)體芯片的重要東西,其選用準(zhǔn)則直接影響到生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。因而,正確選用這些裝備是制作過(guò)程中的重要環(huán)節(jié)。
    水冷板燒結(jié)夾具是用于將硅片固定在加熱設(shè)備上的東西,其選用準(zhǔn)則首要包括以下幾個(gè)方面:
    1.耐高溫性:水冷板燒結(jié)夾具需求具有較高的耐高溫性,以確保在高溫下不會(huì)發(fā)生變形或損壞,影響固定效果。
    2.均勻性:水冷板燒結(jié)夾具的導(dǎo)熱性能要好,以確保硅片在加熱過(guò)程中溫度均勻分布,避免因溫度不均而產(chǎn)生熱裂解等問(wèn)題。
    3.強(qiáng)度和剛性:水冷板燒結(jié)夾具需求具有一定的強(qiáng)度和剛性,以確保在加壓或減負(fù)過(guò)程中不發(fā)生彎曲或變形,保持硅片的平整度。
    4.重復(fù)運(yùn)用性:水冷板燒結(jié)夾具應(yīng)具有杰出的重復(fù)運(yùn)用性,以便于多次運(yùn)用,降低生產(chǎn)成本。
    5.易于清潔和保護(hù):水冷板燒結(jié)夾具的結(jié)構(gòu)應(yīng)簡(jiǎn)略、易于清潔和保護(hù),以確保生產(chǎn)過(guò)程中的衛(wèi)生和設(shè)備正常運(yùn)轉(zhuǎn)。

水冷板燒結(jié)夾具

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